低溫等離子體廢氣處理技術(shù)，是一種集物理、化學、生物和環(huán)境科學為一體的交叉綜合技術(shù)，具有能耗低、效率高、無二次污染等特點，其廢氣處理凈化機理主要包含以下兩方面：

1、等離子體在通過高壓放電產(chǎn)生的過程中，高頻放電產(chǎn)生的瞬時高能量足以打開部分廢氣的化學能，并且將有害氣體分子分解成單質(zhì)原子或無害分子；

2、等離子體在生產(chǎn)過程中具有大量高能電子、正負離子、激發(fā)粒子和具有強氧化性的自由基，它們會與廢氣分子碰撞相結(jié)合，再加上電場的作用，最終將廢氣分子處于激發(fā)態(tài)。如果廢氣分子所得能量超過鍵能，其的化學鍵發(fā)生裂解，然后分解出單質(zhì)原子或無害氣體分子。同時，分解出的活性自由基如·OH、·HO2、·O等，和氧化極強的O3，它們與廢氣分子發(fā)生化學反應(yīng)，最終產(chǎn)生無害產(chǎn)物。

低溫等離子體的廢氣處理效果具有顯著的生物效應(yīng)，同時還具有優(yōu)良的消毒滅菌效果。